Method and system for preventing abnormal stop of production equipment

생산 장치의 이상 정지 회피 방법 및 이상 정지 회피 시스템

Abstract

PURPOSE: To provide a system for avoiding an abnormal stop by which failure timing can be correctly predicted and a safe maintenance can be performed at a low cost. CONSTITUTION: This system includes a reaction chamber 521, a vacuum pump (18, 19) for making the reaction chamber 521 in a low pressure state, a gas supply control system 51 for introducing gas into the reaction chamber 521, a feature quantity sensors 31-37 for measuring time series data of the feature quantities of vacuum pumps (18, 19), a real-time controller 531 for controlling the reaction chamber 521, the vacuum pumps (18, 19), the gas supply control system 51 in real time, and a failure real-time determination module 533, in which a first failure diagnosis data being acquired by a first real time analysis with respect to time series data, a second failure diagnosis data being acquired by a second real-time analysis with respect to the first failure diagnosis data, and thus a failure being predicted. When it is determined to make the abnormal stop, purge gas is introduced into the reaction chamber 521 by the gas supply control system 51.
정확한 고장 시기를 예측하여, 안전하고 또한 저비용으로 유지 관리를 할 수 있는 이상 정지 회피 시스템을 제공한다. 반응실(521); 반응실(521)을 감압 상태로 하는 진공 펌프(18, 19); 반응실(521)에 가스를 도입하는 가스 공급 제어계(51); 진공 펌프(18, 19)의 특징량의 시계열 데이터를 측정하는 특징량 센서(31∼37); 반응실(521), 진공 펌프(18, 19), 및 가스 공급 제어계(51)를 실시간으로 제어하는 실시간 컨트롤러(531); 시계열 데이터에 대한 제1 실시간 해석으로 제1 고장 진단 데이터를 취득하고, 제1 고장 진단 데이터에 대하여 제2 실시간 해석으로 제2 고장 진단 데이터를 취득하여, 이에 의하여, 고장을 예측하는 고장 실시간 판정 모듈(533)을 포함한다. 이상 정지하는 것으로 판단된 경우, 가스 공급 제어계(51)에 의해 반응실(521)에 퍼지용 가스를 도입한다.

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    KR-100858770-B1September 16, 2008오므론 가부시키가이샤프로세스 이상 분석 장치 및 프로그램 기록매체