노광필드 외부의 플레어 노이즈 측정방법

Method for monitoring flare noise of outside of exposure field

Abstract

PURPOSE: A method for measuring flare noise of the outside of an exposure field is provided to improve uniformity of a critical dimension by precisely measuring the quantity of outer flare noise affecting the uniformity of a critical dimension of an edge pattern inside the exposure field in every exposure equipment. CONSTITUTION: Photoresist is applied. An exposure process is performed on the exposure field by using a sizing pattern reticle(20). An exposure process is performed on the firstly exposed exposure field by using a blank reticle(30) having a clear field with no pattern such that the clear field has a light penetration region narrower than the exposure field(22) of the sizing pattern reticle. The exposure field is developed. The development result of a pattern outside the light penetration region of the blank reticle out of the exposure field is compared to measure the influence of the outer flare noise.
본 발명은 노광장비의 노광필드 외부로 새어나가는 플레어 노이즈를 측정하는 방법에 관한 것으로 특히, 노광장비의 노광필드 외부로 새어나가는 플레어 노이즈 검출방법에 있어서, 레지스트를 도포하는 도포단계, 노광필드에 사이징 패턴 레티클을 이용하여 노광하는 제1 노광단계, 상기의 1차 노광된 노광필드를 상기 사이징 패턴 레티클의 노광필드보다 광투과영역이 좁고, 패턴이 없는 클리어 필드를 가지는 블랭크 레티클을 이용하여 노광하는 제2 노광단계, 상기 노광필드를 현상하는 현상단계, 및 상기 노광필드 중 상기 블랭크 레티클의 광투과영역 밖의 패턴의 현상결과를 비교하여 외부 플레어 노이즈의 영향을 측정하는 측정단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

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    KR-100988987-B1October 20, 2010샤프 가부시키가이샤A pair of photo masks for measuring flare, flare measuring apparatus and flare measuring method